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第六十七章 新想法67(第1页)

均匀地在已经氧化好的晶圆上,涂上光刻胶,机器开始工作,DUV被激发,然后通过掩膜落在了晶圆之上。

程铭作为老司机,清楚地看到这个机器其实用的还是多重曝光技术。

DUV的分辨率仅能达到38nm的档次,要用其刻出14nm乃至7nm的宽就得用到多重曝光。

紫外光通过掩膜进行第一次曝光,在用沉积让其加宽加粗,再进行第二次曝光,这样就得到了双重密度的图像。

这种方式其实不算太机密,机密的是实现的工艺手法,而路芒这台机器实现的工艺似乎和目前流传的都不太一样。

在当前工艺下,光刻机可以在极短的时间内对晶进行了四次曝光。

也就是这和其他厂商完全不同的曝光技术保证了其在14nm时拥有相当好的光刻精度。

甚至可以想办法做到5nm!

整个光刻过程是很快的,虽然因为多重曝光,比单次曝光的时长多了一些,但也就五分钟,整个光刻就结束了。

光刻仅仅是将电路设计图刻在了光刻胶上,清洗完之后就可以进行蚀刻了。

蚀刻完,这些电路图才算是正式来到了晶圆上。

下一步便是注入离子在晶圆表面形成数以亿计的晶体管。

后面还得经过热处理,经过镀铜,最后将晶体管全部连接起来,这块芯片才算是初步完成。

一直到了晚上八点钟,程铭终于呼出了一口气,从工作状态中脱离了出来。

而在他手上的正式一块已经被切下来已经完成了封装的芯片。

他带过来的电路设计图,是正儿八经的14nm制程,算是目前夏国攻克14nm稳定产出后就准备上马的芯片项目。

他本来是觉得,按照目前的科研速度,至少也得等个一两年,他手上的设计图才有被用上的可能。

没想到的是,今天,他竟然就拿到了这份设计图做出的成品,这就和在做梦一样。

拿着这块芯片,他狠狠揪了一下自己的胳膊,直到感觉到了疼痛感才让他有些真实感。

“程教授,你出去吃点东西吧,一天没吃饭了。”路芒再次从实验室外面走了进来,有些担心地对着程铭说道。

要是知道面前这个快要六十的老人,工作起来这么不要命,他都不想把他带进来了。

一整天对着控制台,就没有离开过厂房,一会操作光刻机,一会操作后面的蚀刻,路芒每次进来,这位都在忙碌着。

让他去吃饭,也是被他直接轰了出去。

“好啊,是该吃饭了!”

本以为这次程铭也不会答应的路芒,却是听到了程铭的回答声。

路芒一看,这程铭正拿着一小块立方体,满面笑容。

脑筋一转,大概明白应该是成功了。

他脸上也露出了欣喜的笑容,这台光刻机虽然是他亲手搭起来的,脑子里的知识也告诉他,这玩意绝对能轻松驾驭14nm。

但毕竟没有经过实战考验,今天程铭在做的时候,他心里也在不停打鼓。

就怕这台光刻机达不到说明等级,要是这台光刻机达不到说明等级,那也就意味着光刻工厂可能也悬。

纵然是系统出品,但路芒仍然是止不住地担心,这也算是人之常情。

程铭摇摇头:“还不清楚,虽然做是做出来了,但是还没有经过测试,不太清楚这块芯片是不是能正常使用。”

“我们去吃饭吧,我请你,我有一个想法,我们边吃边说。”

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