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第一百九十二章 5nm芯片落地（第2页）

“成了吗？”周启问道。

“是的！”弗兰奇点头，然后调转了面前电脑的画面，对准了下面无尘车间中的一台机器。

“这就是5n光刻机了？”周启有些好奇的看着面前这台四四方方的设备，他这段时间主要在学代码，对光刻机也不了解，但外形还是认识的。

“是的！”弗兰奇点头：“刚刚系统已经自检完成，没有发现问题，已经可以流片了！”

旁边的乌索普有些忐忑，5n光刻机利用洪沙瓦底的渠道也买不到，从零开始造一台光刻机又太耗时间，于是只能买一台回来改造。

他们买的是一台14n的深紫外光刻机，也就是duv光刻机，虽然已经是过时的技术，但价格却一点不打折扣，实打实的56亿rb，换算成贝利就是56亿！

也就是说，面前这台不算太大的设备，就顶得上一个白胡子的头颅。

这是他们几个人组装出来的，这要是出了什么问题，把自己卖了都赔不起啊！

弗兰奇却是很自信，他们的技术上可能比不上asl，但他们有外挂，有泡泡果实绝对消除摩擦力，再加上王母在一旁指导，绝对没有问题！

“那就开始流片！”

“是！”

前期的准备，流片所需材料是全部准备好了的，就等这台光刻机了。

工人倒是没有，为了防尘防噪，整个生产过程都是全自动的，由王母来控制，完全没有问题。

对王母来说，控制个芯片生产也消耗不了多少计算力，它那个时代，主流芯片早换成生物芯片了，用她操控生产硅基芯片，就等于是拿五轴机床做菜刀，简直不要太简单。

当然了，受限于设备，就算是王母来控制，也要注意生产精度。

所以他们专门在工地停工这天流片，就是怕受干扰。

周启一声令下，生产线发出了一声微不可查的震动，随后便开始运作起来。

单晶硅棒先被切割成晶圆，切割好的晶圆被送入光刻机，再由光刻机将电路转印在晶圆上，整个过程就如同投影一般。

一部分硅原子层被深紫外光抹去，一部分在遮光罩的保护中被留下，最终在晶圆上留下数十亿肉眼不见的精微开关--晶体管。

第三步，离子注入。

利用硅半导体的性质，用高能电场将磷离子加速打入晶圆表面，磷离子会破坏晶圆表面的氧化硅结构，且在晶圆中的分布也不均匀，不过这两个问题可以通过加热来解决。

这个步骤的名称也很朴实，叫做退火。

虽然是无尘车间，但灰尘依然是避免不来的，所以退火之后便要用水将晶圆表面冲洗一遍，然后再将铜灌入刚刚蚀刻出来的电路凹槽中。

最后，将晶圆表面多出来的铜磨去，一枚蚀刻完电路的晶圆就诞生了！

因为是试生产，速度不敢拉到最大，目前他们这台光刻机每小时可以处理80片晶圆，每片12寸（300）晶圆可以切割650枚芯片。

产能就是每小时52万枚芯片。

光刻机不用放假，可以一天24小时工作，产能便是每天124万枚芯片！

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现在台积电一片12寸晶圆的代工价格是17000美元，而他们这个工厂一天可以加工1920片晶圆，就是3264万美元！

这还是因为他们这个机器还没全力开动，等全力开动的话，每小时加工200+晶圆不成问题，那一天就可以加工4800片。

总价值，八千万美金，56亿人民币！

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